Wafer preparation | Alfa Laval

Wafer preparation

전자 산업에서 웨이퍼는 실리콘 결정과 같은 반도체 물질을 얇게 썬 조각으로 집적회로나 여타 마이크로 장치의 제조에 사용됩니다. wire saw를 사용하여 Si Ingot 부분을 잘라 웨이퍼로 만들 때, 커팅 슬러리를 냉각하는 것이 필요합니다. 알파라발은 열전달 효율이 높으며 컴팩트하고 신뢰할 수 있는 솔루션을 제공합니다.

Slurry recovery 640x360

웨이퍼는 웨이퍼 내부나 위에 설치하는 마이크로 전자기기를 위한 서브스트레이트로 작용하며, 도핑, 이온 주입, 에칭, 다양한 물질의 디포지션 및 photolithographic patterning 등 여러 단계의 미세가공 공정을 거칩니다. 마지막으로 개별 마이크로회로는 분리(다이싱)되어 용기에 넣어집니다. 

적합한 솔루션으로 알파라발의 열교환기 제품군 중 가스켓 판형 열교환기(GPHE), AlfaNova 전체 스테인리스 스틸 열교환기 및 브레이즈드(Brazed) 판형 열교환기가 있습니다. 모두 열전달 효율이 높으며 컴팩트하고 신뢰할 수 있습니다.